




真空設(shè)備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對(duì)應(yīng)
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。對(duì)工件充注干燥空氣/氮?dú)?-5Mpa,進(jìn)行大漏及耐壓檢測(cè),通過該裝置判斷出被檢工件的大漏及耐壓試驗(yàn)。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿省?
這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進(jìn)行檢漏,使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。
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真空設(shè)備檢漏
一個(gè)真空系統(tǒng),經(jīng)相當(dāng)長(zhǎng)時(shí)間抽氣之后,仍然達(dá)不到預(yù)期的真空度,可能的原因有:抽氣情況不良,即抽氣系統(tǒng)本身的問題。放氣,即真空系統(tǒng)或容器內(nèi)部存在氣體或氣源。漏氣,即真空系統(tǒng)或被抽容器存在漏孔或縫隙。采用后一種原理制造的超聲波轉(zhuǎn)換器不僅在被試驗(yàn)物加壓時(shí)可以使用,在抽真空時(shí),由于吸入的空氣發(fā)出超聲波,因而,采用真空法時(shí)也可以使用。至于漏氣是檢漏技術(shù)所要解決的問題,即準(zhǔn)確檢出漏孔并加以修補(bǔ)。常規(guī)檢漏內(nèi)容包括:用適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)中漏氣問題是否存在。確定漏氣率。找出泄漏部位,以便修補(bǔ)堵漏。
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氫氣檢測(cè)儀是一種可連續(xù)檢測(cè)有毒氣體濃度,適用于防爆場(chǎng)所要求的本質(zhì)安全型設(shè)備。氫氣氣體檢測(cè)儀為本質(zhì)安全型產(chǎn)品,符合GB3836.1-2000《操作指南氣體環(huán)境電氣設(shè)備》部分:通用要求和GB3836.4-2000《性氣體環(huán)境電氣設(shè)備》第4部分:本質(zhì)安全型”i”的有關(guān)規(guī)定。便攜式氫氣泄漏檢測(cè)儀,是一種可連續(xù)檢測(cè)作業(yè)環(huán)境中氫氣濃度的儀器。檢漏時(shí)將檢漏器的靈敏度調(diào)到da,一邊移動(dòng)探頭,一邊偵聽,使能聽到的超聲波發(fā)出的聲音達(dá)到da。氫氣檢測(cè)儀為內(nèi)置泵吸式方式檢測(cè)氣體濃度,采用進(jìn)口電化學(xué)傳感器,具有的靈敏度和出色的重復(fù)性;氫氣檢測(cè)儀采用嵌入式微控制技術(shù),菜單操作簡(jiǎn)單,功能齊全,可靠性高,整機(jī)性能居國(guó)內(nèi)水平。檢測(cè)儀外殼采用高強(qiáng)度工程材料、復(fù)合彈性橡膠材料精制而成,強(qiáng)度高、手感好。
